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奥普公司在大口径平面镜光学加工技术上取得重大突破
  2014-03-27 王名然
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  2014325日,中科院长春光机所投资公司奥普光电加工完成BZPMJ700标准平面镜,面型精度PV0.187λrms0.018λpower0.003λ,这标志着奥普公司在大口径平面镜光学加工技术上取得重大突破。 

  BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两部分组成。经过技术攻坚,已经加工出高精度面形平面反射镜。直径700mm的平面反射镜有效口径范围面形精度达到PV=0.187λrms=0.018λpower=0.003λλ=632.8nm),为该所自制同尺寸平面镜最高精度。此项技术的突破标志着奥普光电具备了直径800mm以内大口径高精度平面镜加工能力,单镜加工周期为半年左右,加工工艺具备定型条件,并能够延伸开发制作不同尺寸和种类的标准平面镜系列产品。此项技术突破为奥普光电创造了新的技术发展点和经济增长点。 

  据悉,奥普光电也已具备了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直径580mm、直径700mm的离轴抛物镜,直径1230mm的球面镜的加工。 

 Φ700mm平面标准镜在所检测中心用32英寸ZYGO平面干涉仪检测 

Φ700mm平面标准镜面形干涉图及检测数据 

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