10月13日,应长春光机所国际合作处邀请,德国弗朗霍夫 IOF研究所Sven Schröder博士来访长春光机所。
上午9:00,在光学中心第一会议室,长春光机所副所长张学军研究员、光学中心副主任郑立功研究员,国际合作处王卉副处长等对来访的Sven Schröder博士表示欢迎。Sven Schröder博士作了题为《光散射光学测量》的专题报告。报告首先介绍了光学元件产生的散射光,通常情况下会增加光损失、损害成像性能。通常,波长越短散射越强,散射光特性也对如DUV和EUV光刻应用中的高品质光学元件表面结构有重要影响。重点介绍了耶拿Fraunhofer组织IOF研发出的一组仪器,用于测量各种波长下的角度分辨的光散射。报告过程中张学军副所长、郑立功研究员及其他科研人员与Sven Schröder博士进行了详细交流。随后,Sven博士参观了中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,双方认为可以就一些相关主题开展国际合作。
Sven Schröder博士作专题报告
张学军副所长与Sven Schröder博士进行交流
光学中心副主任郑立功研究员与Sven Schröder博士进行交流