原子力扫描显微镜 Multimode 8
技术指标
1， 纵向分辨率0.1nm
2， 扫描区域50 um X 50 um
测试功能
1，Tapping , Contact 模式，表面粗糙度
2，机械力学测试模块（磨擦阻尼）
3，电学测试模块（扩散电阻，扩散电容）
4，磁学测试模块
5，纳米压痕
6，隧道电流
测试对象
外延薄膜，抛光固态块体，
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