技术指标

1， X光管 2.2kW

2， Chi园：-5～90，马达驱动，最小步长≤0.002^o

3， Phi园：360度，马达驱动，最小步长≤0.002^o

4， X、Y、Z轴平移，马达驱动，最小步长≤0.002mm, X,Y调节范围≥+5cm.

5， 面内掠入射（IP-GID）附件，光管可旋转，使线聚焦方向与样品表面平行，以提高信号强度及掠射角精度。

6， 一次光路多层膜反射镜及单色器，适合GID，XRR及HRXRD分析

7， 二次光路分析晶体

8， 高分辨单色器的分辨率 <15″

9， 倒易空间mapping模块

10，　　 探测器：闪烁计数器

动态范围 >2×106cps

背底噪音 <0.5cps

测试功能

精细结构分析

面内晶格常数

单晶掺杂

应力分析

外延生长质量确定

测试对象

外延单晶薄膜